七星华创关注排行
产品描述：
产品介绍：
供6"硅片淀积Poly-Si、Si3N4或SiO2薄膜用。
描述：
1.用工业微机对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压力实现自动控制。
2.采用进口压力控制系统，闭环控制，稳定性高。
3.采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门，确保气路洁净度及气密性。
4.具有完善的报警功能及安全互锁装置。
5.具有超温报警与欠温报警、MFC报警、反应室压力报警、RF报警、高压空气压力报警、氮气压力报警等。
产品选型详见订货须知。
京公网安备 11011202001138号
