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产品描述：
高速高增量式直线光栅尺
• 测量步距 0.001 μm (1 nm) 或者更小
• 适用于高速大量程的位置反馈
• 热膨胀系数= (0 ± 0.1)·10-6 K-1（Zerodur玻璃陶瓷）
相位光栅，信号周期512 nm， 非常低的位置噪音，高细分精度，速度可达3 m/s 测量长度可达3040 mm，大安装公差± 0.2 mm gap，± 3.5 mrad roll/pitch/yaw
• 测量步距 0.001 μm (1 nm) 或者更小
• 适用于高速大量程的位置反馈
• 热膨胀系数= (0 ± 0.1)·10-6 K-1（Zerodur玻璃陶瓷）
相位光栅，信号周期512 nm， 非常低的位置噪音，高细分精度，速度可达3 m/s 测量长度可达3040 mm，大安装公差± 0.2 mm gap，± 3.5 mrad roll/pitch/yaw
京公网安备 11011202001138号
