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电源电压:AC85～265V,50/60Hz,DC24V
使用环境:0℃～50℃,50～80%RH
消耗电流:5VA以下
测量精度:±0.5%FS
分辨率:14位
采样时间:0.
运动自由度:X Y Z,θx θy θz μm±20%
直线运动范围:20mrad±20%
转角范围:0.5nm
位移分辨率:2nm
重复定位精度:20N/μm±20%
刚度
运动自由度:X,Y,Z
位移量:200200200μm
组成模块:NDT-1JNL/1104
尺寸A:60mm
尺寸B:171mm
尺寸C:172mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:100100100μm
组成模块:NDT-1JNL/1103
尺寸A:60mm
尺寸B:151mm
尺寸C:152mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:505050μm
组成模块:NDT-1JNL/1102
尺寸A:60mm
尺寸B:131mm
尺寸C:132mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:505050μm
组成模块:NDT-1JNL/1003
尺寸A:64mm
尺寸B:170mm
尺寸C:154mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:252525μm
组成模块:NDT-1JNL/1002
尺寸A:60mm
尺寸B:140mm
尺寸C:122mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:101010μm
组成模块:NDT-1JNL/1001
尺寸A:58mm
尺寸B:120mm
尺寸C:101mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:200200200μm
组成模块:NDT-1JNL/1104
尺寸A:60mm
尺寸B:141mm
尺寸C:172mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:100100100μm
组成模块:NDT-1JNL/1103
尺寸A:60mm
尺寸B:121mm
尺寸C:152mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:505050μm
组成模块:NDT-1JNL/1102
尺寸A:60mm
尺寸B:101mm
尺寸C:132mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:505050μm
组成模块:NDT-1JNL/1003
尺寸A:64mm
尺寸B:111mm
尺寸C:144mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:252525μm
组成模块:NDT-1JNL/1002
尺寸A:60mm
尺寸B:81mm
尺寸C:111mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:101010μm
组成模块:NDT-1JNL/1001
尺寸A:58mm
尺寸B:61mm
尺寸C:91mm
运动自由度:X,Y,Z
位移量:200200200μm
组成模块:NDT-1JNL/1104
尺寸A:60mm
尺寸B:141mm
尺寸C:172mm
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