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产品描述：
产品介绍：
设备应用于大规模集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，适用2~6英寸工艺尺寸。
描述：
1.关键件全部采用进口件，具有高可靠性。
2.采用高可靠性工业控制微机，对炉温、阀门、送料装置的进舟、退舟、停舟进行全自动控制，全部工艺过程实现自动化，具有高抗干扰能力。
3.具有良好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺参数。
4.具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。
5.具有多种报警功能及安全保护功能。
6.具有强大的软件功能，配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间。
产品选型详见订货须知。
京公网安备 11011202001138号
