
SPH-PS1018系列溅射薄膜压力变送器选用国外进口高精度、高可靠性溅射薄膜压力传感器组件和高性能的信号调节电路ASIC组成。ASIC系列经专门设计,以最大限度地发挥溅射薄膜传感器技术优点,并满足客户的多层次的需求。
特点:
◎ 溅射薄膜压力敏感元件,采用先进的离子束溅射工艺及微机械加工技术制成,其制造技术具国际上前沿性技术水准。
◎ 不受传统的金属箔式应变计粘贴工艺引入的蠕变、迟滞、老化缺陷的影响,长期稳定性高,工作可靠。
◎ 无PN结引入的温度误差大和工作温区小的问题,具优良的温度特性。
◎ 不锈钢类的弹性膜片材料(17-4PH),介质兼容性好。无隔离膜片,不用灌油充液。一体化的金属全密封结构,结实可靠,具优良的抗环境震动、耐压力冲击性能。
◎ 高稳定性、,压力传感器经1000万次压力循环,其漂移量小于0.1%FS。
应用:
液压及气动控制系统;
压缩机配套;
制冷机配套;
泥浆泵压测控系统;
热电厂机组;
各种冲击压力的测量;
工程机械配套;
振动环境中的各种压力测量。