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《标题》参数
测量范围:10mm
最小读取量:1μm
指示精度:2μm
测量力:1.08N以下
应答速度:1000mm/sec
保护等级:IP66相当
原点位置:距
中央处理器:工业PowerPC32数据位总线,特有通信协处理器
实时操作系统:嵌入式LINUX
动态存储器:16MDRAM（32位，零等待)
程序存储器:16MFlash
《标题》特点
特点:直接连接网络
320 x 240 图表 LCD
AP 向下适用能力
通用的光纤连接
可选平行/串联口；可选触摸屏
看门狗时钟:1.0 sec 硬件自
《标题》参数
最小读取量:0.5/1/5/10μm
显示范围:-99.9995～99.9995mm
应答速度:1000mm/sec
输入输出端子台:○(-NG/OK/+NG,区域)
输入输出B
《标题》参数
最小读取量:0.5/1/5/10μm
显示范围:-99.9995～99.9995mm
应答速度:1000mm/sec
输入输出端子台:○(-NG/OK/+NG,区域)
输入输出B
《标题》参数
最小读取量:0.5/1/5/10μm
显示范围:-99.9995～99.9995mm
应答速度:1000mm/sec
输入输出端子台:○(-NG/OK/+NG,区域)
输入输出B
《标题》参数
最小读取量:0.5/1/5/10μm
显示范围:-99.9995～99.9995mm
应答速度:1000mm/sec
输入输出端子台:○(-NG/OK/+NG,区域)
输入输出B
中央处理器:工业PowerPC32数据位总线,特有通信协处理器
实时操作系统:嵌入式LINUX
动态存储器:16MDRAM（32位，零等待)
程序存储器:16MFlash
《标题》参数
最小读取量:0.5/1/5/10μm
显示范围:-99.9995～99.9995mm
应答速度:1000mm/sec
输入输出端子台:○(-NG/OK/+NG,区域)
输入输出B
《标题》特点
TCP/IP 连接模式:TCP server/TCP client/UDP
安全性:IP地址封包过滤
配置和固件升级带密码保护
配置选择:Telnet/Windows-based ut
《标题》参数
最小读取量:0.5/1/5/10μm
显示范围:-99.9995～99.9995mm
应答速度:1000mm/sec
输入输出端子台:○(-NG/OK/+NG,区域)
输入输出B
《标题》产品参数
适用晶片尺寸:2″～6″
刻蚀线宽:0.8～0.35μm
刻蚀介质:氮化硅、多晶硅、砷化镓、磷化铟及铝等多种介质
刻蚀速率:3000～60
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